半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高级测封配套方案涉重废渣——MVR硬性循环法零排楼盘
工程图片背景
半导体设备材料一个测封大型工程,大规模150m³米/天,是首家半导体设备材料测封整套搭配涉重废液零排大型工程。测封部分的镀镍、镀铜、引线骨架的清洗会诞生含镍含铜废液,经济区规范要求"无尾水外排",产水基本中水回用于产线。
饮用水的特点与瓶颈问题
污废水 以含镍为核心(渗透压10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH起伏大(2–12),还要光刻胶残渣的少量的生物碳物。首测厂活动场地紧,须要净化处理油烟净化器土地征用小;零排预示着浓水不会土石方太大,须要本机蒸发器晶粒闭环控制。
净化处理工学艺交通路线
整体结构走"分质征集 → 预处里除杂 → 化学上的沉淀自己除镍 → 过滤清洁 → UF+多级RO → MVR二次嵌套循环减压蒸馏 → 气液分离器水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢腐蚀钠绘制Ni(OH)₂滤渣,再加上加硫钠程度气体吸附稳定度镍(加硫镍Ksp比氢腐蚀镍更小,可以让镍压到0.1毫克/升以下的);
石雕文化沉淀出水出水经多有机溶剂活性炭过滤装置+门卫活性炭过滤装置后进UF,再进考试内容一级RO,产水可以回产线进行维护清洁;
RO浓水(含盐+的残留物巨资属)进MVR強制反复的多效空调蒸发掉器,強制反复的能扛高含盐结渣,多效空调蒸发掉器內置在线播放擦拭,不能堵;
MVR冷却水水反回循环养鱼池,蒸发器残液委外填埋或作垃圾应急处置,一个生活区无液体状态外排。
主要仪器优点有哪些反映
MVR硬性配置不同之处寻常降膜蒸发器掉器,配置流体密度高、对流换热系数面材质结镍盐/碳酸盐垢,比较合适首测这一种"需水量不是很大但水质检测杂"的消费场景;一身化撬装设计征占比传统型蒸发器掉器塘+多效蒸发器掉器设计小60%上文;臭味侧配建生物技术滤池,把调低池和工业废水间的臭味采集而来后可降解成CO₂和水,避开首测厂紧挨着企业办公楼的怪味投拆。
处置的效果与盈利能力
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,好于《主轴电镀造成的环境有害特性尾气排放标准物条件》表三;任何150立米米/天产水工业废水处理于测封产线洁净,替换等量优质水;危废处理(挥发残液+厌氧颗粒污泥)量比常用"乳浊液+尾气排放标准物"格局减约70%。对富士康侧,测封项目流程健康分级管理卡点打架通;