成都某光电器件鑫霖环保芯片制造技术厂,晶圆加工厂的时候中导致含硅、氟的非常规生活污水,规划处里规模化1200吨/日。生活污水成份繁复,内含nm级硅粒状及盐酸,常用处里形式没办法及格。
废水处理工艺材料及来历
最主要的感染物
:悬浊液硅(100-500nm孔径)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
源头流程
:晶圆刻蚀废水处理工艺处理工艺(45%)、CMP化工机器打磨废水处理工艺处理工艺(40%)、机 清洁水(15%)
处置加工注意事项
信息化利用"电化学沉淀自己+特种车膜提取"技巧路线图:
钙盐乳浊液
:加药氯化钙取除氟亚铁离子(转换成CaF2积淀)
斜板沉淀池发生反应
:分手后复合水解酸化池剂控制溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm口径膜截流微细顆粒
反渗入系统
:脱盐率>98%,环保再生资源回成品率75%
蒸发掉晶体
:浓水段改变氟化物零废气排放
结果效率
氟化物密度:<8mg/L(降至国家三级规定10mg/L)
硅分子量:<5mg/L
水资原回收率:70%使用在急冷塔补水保湿
危废处理减药:减压蒸馏沉渣量较老式工艺流程可以减少60%