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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料集成ic加工进行处理厂在晶圆加工进行处理的过程中,用硅烷实现硅外延性植物的生长,尾气排放干洗塔所产生高氧浓度含硅生产废水进行处理手段。生产废水进行处理手段更具pH变化大(2-11)、硅份量高的优势特点,传统的进行处理手段易存在硅垢梗塞问題。 污水材质及来源地 工业废水主要是化学成分为: 溶解度性硅酸盐 :SiO₂渗透压达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化物钠 :干洗塔酸碱平衡干洗液杂质 粒子硅 :奈米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :工业原料沉淀物进入 外理新工艺注意事项 科学创新用于"有级采和+膜筛选+蒸馏沉淀"施工工艺: 特一级中合 :用CaO调接pH至4-5,生成二维码硅酸钙悠长岁月中,硅除掉率60%。 中级中合 :加Na₂CO₃将pH加快至9,进步骤奠定其他硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置系统化 :0.02μm瓷砖膜过滤清洁纳米级级硅颗粒肥料,通量稳固在80LMH。 MVR汽化器 :浓缩液高盐废渣,晶粒出Na₂SO₄副的产品,水中水回用率超90%。 最后治疗效果 总硅从1500mg/L减少为5mg/L下面的 砷硫含量从0.8mg/L降到0.01mg/L 平台无水垢正常运行超2年 第一年收回浓盐酸钠单晶体约800吨

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