该厂为89英寸晶圆带来线生活配套的超超纯水程序，一天带来含硅污水150吨。污自来水中虽无血本属，但硅含铁高易水垢，且阻值率需高于18MΩ·cm才能够工业化废水除理。原先的除理工学院艺尚未符合新颁布实施的《光学工业化水造成的污染排出口规范》（GB39731-2020）很大排出口标准值。 废渣部分优点 大部分感染物 ：溶液硅（200-300mg/L）、粒子硅（孔径0.1-1μm） 比较特殊符合要求 ：TOC<10μg/L，硼成分<5μg/L 土质形态 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物姿态多样化 加工处理新工艺程序流程 创新发展主要包括"梯级膜离心分离+电去化合物"组合公式施工工艺： 微滤预治理 ：1μm卫浴陶瓷膜过滤大粒状硅，通量持续80LMH 阴阳离子交易树脂材料 ：D201大孔光敏树脂挑选性离心分离硅酸原子核 特殊RO控制系统 ：首要段回收公司率60%，其二段主要采用高脱硼膜部件 EDI电去化合物 ：感应电流强度2A/m²，连续弄掉残留物阴阳离子 UV紫外线杀菌的 ：254nm紫外光线用量40mJ/cm² 新技术成效 设计专业级阻硅剂（生产胺类塑料物），减慢膜造成的污染阶段3倍 EDI功能科学创新流道设计构思，硅彻底清除率提高自己至99.8% 线硅阐述仪（测量方法空间0.1-500μg/L）确保准确操控 工作效果 经三通检验： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼量从8μg/L降为0.3μg/L 系统的利用率从原40%增强至68% 膜拆换期提升至5年，年操作成本低降35%