该晶圆制作厂是在西北位置,重点产出8屏幕尺寸半导体芯片晶圆,每日废污水排放口物量约800吨。原因产出全过程中食用不少氢佛酸来进行晶圆蚀刻,引发废污水里氟化物浓硫酸浓度敢达200-300mg/L,远超部委排放口物标淮(10mg/L下述)。
废水处理工艺成份及从何而来
生产废水注意产自这几个关键环节:
晶圆蚀刻道工序
:含高含量氟化物(HF)、盐酸及少量出巨资属
耐腐蚀设备打蜡 (CMP)废水处理
:含nm级硅颗粒肥料、设计络合剂
系统清晰废气
:含异丙醇、挥发酚等有机质物
除理工艺操作流程操作流程
适用"药剂学积淀物中+水泥混凝土积淀物中+纵深筛选"三级职业资格证书处置模式:
1级加工处理
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,演变成氟化钙奠定,氟化物洗去率达85%
五级正确处理
:加入PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),避开电解质溶液态感染物
三级职业资格证书解决
:凭借多导电介质可溶性炭滤器和可溶性炭离心分离,有水出氟化物密度不稳定性在8mg/L这
至关重要仪器也包括:pH半自动设定整体、斜管水解池、板框压滤设备(活性污泥脱水烘干)。
终极特效
工程程序运行两年探测统计资料屏幕上显示:
氟化物差不多氧浓度:7.2mg/L(大于国内的标准)
COD清掉率:92%
飞灰水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副车辆约150吨,变现能源化合理利用